摘要

異丙醇(Isopropyl Alcohol，IPA)為半導體業及光電業製程中常用的清洗溶劑，亦為產業中揮發性有機化合物 (Volatile Organic Compounds，VOCs)的重要來源。在眾多處理含VOCs廢氣的方法中，觸媒焚化(Catalytic incineration)堪稱最具潛力的技術，主要應用於中低濃度之廢氣處理，具有節約能源、操作穩定、去除率高等優點。然而其處理效率的好壞與選用的觸媒有密不可分的關係。

本研究利用共沉澱法(Co-precipitation method)合成六種鐵氧磁體觸媒(Cu-ferrite、Mn-ferrite、Co-ferrite、Ni-ferrite、Zn-ferrite、Pure-ferrite)，以探討鐵氧磁體觸媒用於焚化異丙醇之可能性。研究成果發現活性中心金屬與鐵之比例(M/Fe)為1/2.5的Cu-ferrite具有最佳的催化效果。在異丙醇濃度3300 ppm、空間速度6000 hr^-1、氧氣濃度21%之實驗條件下，僅需180℃即可將異丙醇完全去除。

關鍵字:異丙醇、化學共沉澱法、鐵氧磁體、觸媒焚化